仪器介绍

有机金属真空热蒸镀系统简称蒸镀仪，主要用于有机和无机材料的薄膜制备。研究院的蒸镀仪具有8组蒸发源，可兼容蒸镀金属和有机材料，能够同时蒸镀4个器件，并且1轮蒸镀（1个run）可实现4种不同器件结构的制备。该设备可以安装4个32 mm*32 mm的基片托盘，通过箱体外的控制，能够在真空状态下更换掩膜板，并且蒸镀图案可更改。大大降低了制备难度，提升了器件制备效率。

工作原理

蒸镀仪是在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料（或称膜料）并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子→气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送→气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜→薄膜原子重构或产生化学键合。

讲解：2022级硕士生巩显鹏-刘洁团队

剪辑：2024级硕士生刘星玙-劳俊超团队