仪器型号：MNT-S100-L3S2
生产厂家：迈纳德
主要规格和技术参数：
1、设备本底真空为0.67 Pa，加热方式为电阻丝加热，设备从室温加热到100度，用时为30m分钟；
2、反应腔体材质为316 L，漏率≤5×10-10Pa·m3/s，腔体表面镜面抛光后电解；
3、样品台尺寸φ100 mm，标准4英寸平面腔体，高19 mm，样品台加热温度最高400oC；
4、精度：原子层沉积原理上说，每个Cycle生长小于一个原子层的厚度，例如Al2O3，一个Cylce生长约0.11 nm。
5、配备6路金属前驱体源输送管路，常温源1路，加热源2路，载气辅助源2路，预留1路，配备载气管路和质量流量控制器；
6、ALD专用阀门（品牌Swagelok）为自带吹扫功能的三孔阀，响应时间小于5 ms；
7、真空泵采用双级油封式真空泵，抽速≥14 m3/h，本底真空0.5 x 10-3Torr；
8、配备进口压力传感器，检测范围：1000-2.3 x 10-4Torr，并配备真空计保护阀门；
9、界面操作界面支持历史数据、报警日志以及配方的导入导出功能；
10、系统中所有ALD阀门以及真空阀配备电磁阀，电磁阀响应时间< 3 ms，带过电压保护回路，带动作指示灯。
主要功能及特色：该设备主要用于沉积氧化物、氮化物及金属薄膜，进一步用于半导体器件、微米纳米颗粒功能性包裹和生物传感器等研究。
适用于材料物理与化学、生物医学、应用化学、药物分析、医学检测、微电子、生物传感技术等。
主要附件及配置：
预约网址：http://202.113.64.51/genee/
