仪器介绍

磁控溅射仪是一种利用物理气相沉积的方法在非导电或导电不良的样品上涂布金（Au），钯（Pd），铂（Pt）和金/钯（Au / Pd）薄膜的设备，常用于扫描电镜（SEM）的样品制备以及电极制备。它可在较短时间内形成具有细粒度的均匀薄膜，最常见的靶材是金靶，所以磁控溅射仪也俗称“喷金仪”。

仪器工作原理

在封闭腔室中，放置阳极靶材，充入气体，保持一定的真空度，在阳极和阴极之间加载高压，会发生辉光放电现象。电离的气体离子会轰击、侵蚀阳极靶材。靶材原子会因此向四周扩散，并在样品上沉积，最终在样品表面形成一个均匀的镀层。这个镀层可以抑制荷电，减小热损伤，提高二次电子产率，从而改善扫描电镜观察效果。

注意事项

1、单次溅射时间请勿超过120s,若需溅射厚电极膜，可多次溅射。

2、拿起上盖放样品时，请将上盖以原始方向放置于溅射池侧边。

3、请确保离子溅射仪的工作电流稳定，再开始溅射。

4、若要单次长时间溅射，需要配置水冷机。

5、禁止使用未干燥的样品及未黏附的粉末样品。

6、禁止用手碰触靶材，也防止脏东西及样品粘附至靶材上，影响使用。

讲解：2020级硕士生尹吉坤

拍摄：2022级硕士生刘雨晴-李明敏团队

剪辑：2022级硕士生张芷凡-刘婧娟团队