仪器介绍

晶体管气敏测试平台通过控制待测气体浓度并实时监测传感器的电学信号变化实现气体检测。该平台主要由配气仪、密闭腔体、显微镜、移动针座、半导体测试仪4200-SCS等部分组成。

工作原理

测试时，配气仪按照设定比例将载气和待测气体混合后通入密闭腔体，通过气体分子在敏感层表面发生吸附、扩散及界面相互作用，从而引起晶体管传感器电学特性的变化。接着，半导体测试仪4200-SCS按照设定的测试条件实时采集器件的电流、电压等电学参数，通过比较器件在待测气体环境下的信号变化，可获得气体响应、响应/恢复时间、重复性及选择性等气敏性能相关数据。

注意事项

1.测试前应检查气路、电路及腔体密封情况，并确保排气管正确接入通风系统；

2.放置和取出样品时应先将探针抬至最高位置，避免划伤器件或损坏探针；

3.密封腔体时螺丝应沿对角方向依次拧紧，保证腔体受力均匀；

4.下针过程中应借助显微镜缓慢调节探针位置，避免过度按压电极；

5.测试过程中带好防护面罩，随时观察系统压力，保持为0 kPa；

6.测试后探针归位，排气通风，确保安全。

讲解：2025级硕士生李煜锦-孙辰芳团队

剪辑：2024级硕士生苗天晴-孙辰芳团队